冷场发射式:冷场发射式扫描电镜是通过使用一个锐利尖晶(lOOnm)和高电压(3.4kv)获得高势场,使电子从钨线圈中下来,要求具有超高真空度,但使用寿命较长,且具有高性能。冷场发射式较大的优点为电子束直径较小,亮度较高,因此影像分辨率较优。能量散布较小,故能改善在低电压操作的效果。冷场扫描电镜为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,因此使得发射电流不稳定,发射体使用寿命短,冷场发射扫描电镜对真空条件要求较高,冷场发射式电子长筒械具必需在10-10torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing,定时对针尖进行清洗),以去除所吸附的气体原子,此外,他的发射的总电流较小,但局限于单一的图像观察,应用范围有限。要从极细的钨针尖场发射电子,金属表面必需完全干净,无任何外来材料的原子或分子在其表面,即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射,所以场发射电子长筒械具必需保持超高真空度,来防止钨阴极表面累积原子。扫描电镜是显微镜家族中的后起之秀。厦门台式扫描电镜费用
扫描电镜的分类主要是根据其电子长筒械具的种类来分的,电子长筒械具的必要特性是亮度要高、电子能量散布(EnergySpread)要小,目前常用的电子长筒械具有钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射三种,不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。钨(W)灯丝扫描电镜:价钱较便宜使用较普遍的是钨灯丝,以热发射(Thermionization)式来发射电子,电子能量散布为2eV,钨的功函数约为4.5eV,钨灯丝系一直径约100μm,弯曲成V形的细线,操作温度约2700K,电流密度为1.75A/cm2,在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小,使用寿命约为40~80小时。厦门台式扫描电镜费用扫描电镜对信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
场发射扫描电镜的条件要求:场发射扫描电镜对真空的要求较高,有些仪器在电子长筒械具及磁透镜部份配备了3组离子泵(ionpump),在样品室中,配置了2组扩散泵(diffusionpump),在机体外,以1组机械泵负责粗抽,所以有6组大小不同的真空泵来达成超高真空的要求,另外在样品另有以液态氮冷却的冷阱(coldtrap),协助保持样品室的真空度。场发射的操作注意事项:场发射式电子长筒械具的电子产生率与真空度有密切的关系,其使用寿命也随真空度变差而急剧缩短,因此在样品制备上必须非常注意水气,或固定用的碳胶或银胶是否烤干,以免在观察的过程中,真空陡然变差而影响灯丝寿命,甚至系统当机。
扫描电镜应用范围:直接观察大试样的原始表面。它能够直接观察直径100mm,高50mm,或更大尺寸的试样,对试样的形状没有任何限制,粗糙的表面也能观察,这便免除了制备样品的麻烦,而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。观察厚试样。其在观察厚试样时,能得到高的分辨率和较真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射扫描电镜之间。但在对厚块试样的观察进行比较时,因为在透射扫描电镜中还要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达到10nm,且观察的不是试样本身,因此,用扫描电镜观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。不同类型的扫描电镜存在性能上的差异。
扫描电镜:扫描电镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对X射线的采集,可得到物质化学成分的信息。扫描电镜景深大,视野大。厦门台式扫描电镜费用
扫描电镜可直接观察起伏较大的粗糙表面和试样凹凸不平的金属断口。厦门台式扫描电镜费用
和透射电镜相比,扫描电镜试样制备比较简单。在保持材料原始形状情况下,可以直接观察和研究试样表面形貌及其它物理效应(特征),这是扫描电镜的一个突出优点。扫描电镜的有关制样技术是以透射电镜、光学显微镜及电子探针X射线显微分析制样技术为基础发展起来的,有些方面还兼具透射电镜制样技术,所用设备也基本相同。但因扫描电镜有其本身的特点和观察条件,只简单地引用已有的制样方法是不够的。扫描电镜的特点是:观察试样为不同大小的固体(块状、薄膜、颗粒),并可在真空中直接进行观察。试样应具有良好的导电性能,不导电的试样,其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜。试样表面一般起伏(凹凸)较大。观察方式不同,制样方法有明显区别。试样制备与加速电压、电子束流、扫描速度(方式)等观察条件的选择有密切关系。厦门台式扫描电镜费用
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